半導体

半導体製造環境は、シールにとって最も侵食されやすい環境の代表格です。シールは超高純度材料で作られなければならず、極端な温度や数種類のフッ素化ガスを混合した環境にも耐えられなければなりません。このような理由から、半導体産業用シールは材料技術の最先端にあると言えます。

当社の科学者と技術者で構成されたチームは、最も重要な半導体環境で使えるよう、幅広い高性能化合物を特別に開発しました。これらの材料は侵食性のある媒体にさらされた状態で最高325°Cの温度に耐えられるとともに、PMの延長、パーティクルやチャンバー漏れ率の低減といったメリットがあります。

最新世代のPerlast®パーフロロエラストマーは、湿式・乾式両方のウエハー処理に対応しており、汚染が極めて少なく、シール材として長くご使用いただけます。

純度
半導体用材料および部品はすべて、合計面積418平方メートルのクリーンルーム2室で加工され、ウエハーの歩留まり低下につながり得る大気からの汚染を防いでいます。

半導体用Perlast®パーフロロエラストマーの種類に関する詳細はwww.perlast.comをご参照ください。

1 - 3 December 2010
Makuhari Messe, Chiba, Japan
Stand 3A - 210

 MONOVAT® Gate Valve (pictured above) is a registered trademark of VAT Vacuumvalves AG.